박막 웨이퍼 핸들링을 위한 알루미나 기반 다공성 세라믹 진공 척
세인트세라(St.Cera)의 알루미나 기반 다공성 척은 99.6%의 고순도 Al₂O₃로 제작되었으며, 30~45%의 제어된 개방 기공률과 10~50μm 범위의 균일한 기공 크기를 갖습니다. 홈이 있는 척과 달리, 다공성 표면은 웨이퍼 뒷면 전체에 걸쳐 고르게 진공을 형성하여 가장자리에 자국이 남는 것을 방지하고 초박형(≤100μm) 또는 휘어진 웨이퍼를 부드럽게 고정할 수 있도록 합니다. 이 소재는 250MPa 이상의 굽힘 강도와 공기 중에서 최대 400°C까지 열 안정성을 제공합니다.
명세서(알루미늄 99.6% 기준)₂O₃):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.6% 알루미나(백색) |
| 다공성 | 30~45% (조절 가능) |
| 평균 기공 크기 | 10–50 μm |
| 굽힘 강도 | ≥250 MPa |
| 밀도 | 3.88 g/cm³ |
| 평탄도 (200mm 이상) | ≤5 μm |
| 최대 작동 온도 | 400°C (공기) |
| 표면 마감 | 겹침 가공(Ra ≤0.8 μm) |
응용 분야:
- • 얇은 웨이퍼(≤50 μm) 후면 연삭
- • 다이싱을 위한 휘어진 웨이퍼 마운팅
- · 단일 다이 픽업
- • 유리 기판 취급
조작:
기공 형성제와 혼합된 분말 → 등방압 성형 → 1600°C에서 소결 → 최종 두께로 연마. 각 척은 진공 균일성(압력 편차 <5%)을 확인하기 위해 유동 테스트를 거치고, 기공 크기 분포(SEM)를 검사합니다.
기존 척 대비 장점:
- • 웨이퍼 뒷면 마킹이나 다이 시프트 없음
- • 최대 500μm까지 휘어진 웨이퍼를 고정할 수 있습니다.
- • 자가 세척 표면 (기공이 막힘을 방지함)
- • 균일한 지지로 국소적인 스트레스를 제거합니다.
C맞춤 설정:
원형 또는 사각형 모양, 직경 100~450mm. 구역별 진공 제어를 위한 가장자리 밀봉 링 사용 가능.
원하시는 웨이퍼 크기에 맞는 샘플을 요청하세요.
