정밀 절단 및 연삭용 알루미나 진공 척
세인트세라(St.Cera)의 알루미나 진공척은 99.8% 고순도 Al₂O₃ 소재로 제작되며, 정밀 가공된 진공 홈이 특징입니다. 당사의 정밀 연삭 기술은 0.003mm의 평탄도와 0.002mm의 평행도를 달성하여 다이싱, 후면 연삭 및 검사 과정에서 웨이퍼의 뒤틀림 없는 고정을 보장합니다. 이 소재는 높은 굴곡 강도(361MPa), 경도(16GPa) 및 최대 800°C의 열 안정성을 제공합니다. 외경 최대 600mm의 원형과 길이 최대 1500mm의 직사각형 형태로 제공됩니다. 진공 홈은 특정 공정 요구 사항에 맞춰 동심원, 방사형 또는 격자 패턴으로 맞춤 설계할 수 있습니다. 모든 척은 레이저 간섭계로 검사되며 평탄도 검증 보고서가 함께 제공됩니다.
사양 (알루미늄 99.8% 기준)₂O₃(및 세인트세라의 제조 역량):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 외경(최대) | 600mm |
| 두께(최대) | 100mm |
| 길이(최대) | 1500mm |
| 평탄 | 0.003mm |
| 병행 | 0.002mm |
| 표면 마감 | 라0.1 |
| 최대 작동 온도 | 800°C |
응용 분야:
- • 웨이퍼 절단 및 스크라이빙(200mm/300mm 이상)
- • 얇은 웨이퍼의 후면 연삭
- 광학 검사 및 탐침
- • 대형 기질 처리
제조 정밀도:
- • 직진도: 0.005mm
- • 직각도: 0.005mm
- • 원형도: 0.002mm
- • 동심도: 0.01mm
