테프론 코팅 세라믹 엔드 이펙터 - 민감한 웨이퍼 취급을 위한 논스틱 표면
세인트세라(St.Cera)의 테플론(PTFE) 코팅 세라믹 엔드 이펙터는 고강도 알루미나 기판에 균일하고 마찰이 적은 PTFE 코팅(두께 15~30μm)을 결합한 제품입니다. 이 코팅은 극히 낮은 마찰 계수(≤0.1), 뛰어난 내화학성, 그리고 웨이퍼 접착을 방지하고 후면 오염을 제거하는 비점착성을 제공합니다. 하부 세라믹 기판(99.8% Al₂O₃)은 높은 굴곡 강도(361~1000MPa), 내마모성, 그리고 최대 260°C(코팅 한계)까지의 열 안정성을 제공합니다. 이 엔드 이펙터는 섬세하고 얇거나 점착성이 있는 웨이퍼(예: 포토레지스트 코팅 또는 화학 공정 후)를 처리하는 데 이상적입니다.
명세서 (PTFE 코팅이 된 99.8% Al₂O₃ 기판 기준):
| 재산 | 값 |
| 기판 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 코팅 재료 | PTFE(테플론) |
| 코팅 두께 | 15–30 μm |
| 마찰 계수(코팅 처리) | ≤0.1 |
| 기판 굴곡 강도(Al₂O₃) | 361 MPa |
| 기판 경도(Al₂O₃) | 16 GPa |
| 기질 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 최대 작동 온도(코팅 한계) | 260°C |
| 표면 거칠기 (코팅 전) | Ra ≤0.4 μm |
| 절연 강도(기판) | 15×10⁶ V/m |
참고: PTFE 코팅은 최대 사용 온도를 260°C로 제한합니다. 더 높은 온도에서 사용해야 하는 경우에는 코팅되지 않은 세라믹 또는 다른 코팅을 고려하십시오.
응용 분야:
- • 포토레지스트 코팅 후 웨이퍼 취급 (점착성 표면)
- • 얇거나 깨지기 쉬운 웨이퍼의 이동 (접착 방지)
- • 반도체 검사 및 계측 도구
- • 입자 오염을 최소화해야 하는 클린룸 자동화
제조 공정:
세라믹 기판 소결 및 정밀 연삭 → 표면 거칠기 처리(플라즈마 에칭 또는 그릿 블라스팅) → PTFE 스프레이 코팅 → 380°C에서 열 경화 → 최종 검사. 각 엔드 이펙터는 코팅 두께(와전류), 접착력(ASTM D3359 크로스컷 테스트) 및 마찰 계수를 검사합니다.
품질 관리:
미세 기포 또는 미세 구멍에 대한 100% 육안 검사; 코팅 두께 균일도 ±5μm 이내; 시편에 대한 90° 굽힘 시험 후 박리 없음. 치수 검사는 OEM 허용 오차를 준수함(길이 ±0.05mm, 평탄도 ≤0.1mm).
코팅되지 않은 표면이나 다른 코팅에 비해 다음과 같은 장점이 있습니다.
- • 논스틱 표면으로 웨이퍼의 접착 및 파손을 방지합니다.
- • 세라믹 코팅 중 가장 낮은 마찰 계수
- • 뛰어난 내화학성 (산, 염기, 용제)
- • 물질 이동을 방지하여 입자 발생을 줄입니다.
제한 사항 (재료 편차에 대한 참고 사항):
PTFE 코팅은 제공된 재료 물성표(Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO)를 기반으로 하지 않습니다. 기판 물성은 제공된 데이터시트(99.8% Al₂O₃)를 엄격히 따릅니다. 코팅 데이터가 제공되지 않았으므로 코팅 물성은 업계 표준 PTFE 사양을 기반으로 합니다. 260°C를 초과하는 용도에는 코팅되지 않은 세라믹 엔드 이펙터를 사용하는 것이 좋습니다.*
맞춤 설정:
길이는 150~1500mm, 팁 모양(엣지 그립, 베르누이, 플랫), 장착 플랜지 패턴은 OEM 도면에 따라 제공됩니다. 부분 코팅(접촉 부위만) 또는 전체 코팅을 선택할 수 있습니다.
접착력 및 마찰력 테스트를 위한 샘플을 요청하십시오.
