300mm 웨이퍼 가공용 12인치 알루미나 진공척
세인트세라의 12인치 진공척은 300mm 웨이퍼 핸들링을 위해 99.8% 고순도 알루미나(Al₂O₃)로 정밀하게 설계되었습니다. 이 척은 미세한 홈 표면(홈 폭 0.5~1.0mm, 피치 2~3mm)을 특징으로 하여 300mm 직경 전체에 걸쳐 균일한 진공 분포를 보장합니다. 5μm 이내의 평탄도를 유지하여 다이싱, 후면 연삭 및 검사 과정에서 웨이퍼의 뒤틀림 없는 고정을 가능하게 합니다. 또한, 이 소재의 높은 굴곡 강도(361MPa)와 경도(16GPa)는 반복적인 진공 사이클에도 장기간 치수 안정성을 보장합니다.
명세서 (알루미늄 산화물 99.8% 기준):
| 재산 | 값 |
| 지름 | 300mm (12인치) |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 평탄도 (300mm 이상) | ≤5 μm |
| 홈 너비 | 0.5~1.0mm |
| 최대 작동 온도 | 800°C |
| 절연 강도 | 15×10⁶ V/m |
응용 분야:
• 300mm 웨이퍼 절단 및 스크라이빙
• 웨이퍼 후면 연삭(얇은 웨이퍼 지지)
• 광학 검사 및 탐침
• 임시 접착/탈착 척
조작:
CNC 연삭 및 래핑을 통해 최종 평탄도를 확보하고, 다이아몬드 휠로 홈을 가공한 후, 초음파 세척을 거쳐 클래스 100 클린룸에서 포장합니다. 각 척은 평탄도(레이저 간섭계) 및 홈 깊이(프로파일로미터)에 대해 100% 검사를 거칩니다.
장점:
•낮은 입자 발생량(≤0.05개/cm²)
•용매 및 산에 대해 화학적으로 불활성임
• ESD 안전 표면(저항률 >10¹³ Ω·cm)
맞춤형 진공 흡입구 패턴 및 후면 포트 제공 가능.
