알루미나 기반 표준 진공 척 - 정밀 가공을 위한 높은 강성
이 알루미나 기반 진공 척은 99.8% Al₂O₃로 제작되어 맞춤형 진공 홈 패턴이 있는 매끄럽고 비다공성 표면을 제공합니다. 탁월한 강성(영률 380 GPa)과 평탄도(≤3 μm)를 자랑하여 반도체 웨이퍼 및 광학 부품의 정밀 연삭, 래핑 및 다이싱에 이상적입니다. 또한, 소재의 높은 열전도율(32 W/m·k)은 가공 중 온도 균일성을 보장합니다.
명세서(알루미늄 99.8% 기준)₂O₃):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 영률 | 380 GPa |
| 열전도율 | 32 W/m·k |
| 평탄 | ≤3 μm (200mm 이상) |
| 표면 거칠기(척 측면) | Ra ≤0.4 μm |
| 최대 작동 온도 | 800°C |
응용 분야:
- • 웨이퍼 뒷면 연마(거친 연마 및 미세 연마)
- • 취성 재료의 정밀 절단
- 세라믹 기판의 래핑
- 광학 렌즈 연마
조작:
양면 정밀 래핑 → 다이아몬드 홈 가공(선택 사항) → 모서리 라운딩 → 초음파 세척 → 레이저 간섭계를 이용한 100% 평탄도 검사.
A장점:
- • 견고한 지지대는 하중을 받을 때 처짐을 최소화합니다.
- • 다공성 구조로 인한 입자 발생 없음
- • 세척이 간편함 (용제 세척 가능)
- • 진공 홈 맞춤 제작 가능 (동심원형, 방사형, 사용자 지정 패턴)
사용 가능한 사이즈:
원형: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; 정사각형/직사각형은 요청 시 제작 가능합니다.
더욱 높은 기계적 강도를 위해 금속 재질로 제작된 버전도 제공합니다.
