이는 진공 상태에서 사용되는 트레이형 세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암입니다.
세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암은 금속 제품에 비해 "내열성이 뛰어나고", "휘어짐이 적으며", "가볍습니다".
세라믹은 고온, 부식, 마모 및 절연성이 뛰어나 고온, 진공 또는 부식성 가스 환경 등 다양한 조건에서 장시간 작동 가능한 반도체 생산 설비에 사용될 수 있습니다.
고순도 알루미나 분말을 냉간 등방압 성형, 고온 소결 및 정밀 가공하여 제조되었으며, 치수 공차 ±0.001mm, 표면 조도 Ra 0.1, 내열 온도 1600℃를 달성할 수 있습니다.
