웨이퍼가 이송되거나 엔드 이펙터/핸들링 암과 접촉하는 동안 경사면이나 각진 모서리 및 뒷면에서 발생할 수 있는 입자를 방지합니다.
가이드에는 웨이퍼를 손상시키지 않는 부드러운 소재를 사용했습니다.
ST.CERA의 내장형 진공 채널 기술은 접착제를 사용하지 않고도 희석이 가능합니다.
로봇에 엔드 이펙터/핸들링 암이 장착되는 베이스 부분에 장착 구멍을 뚫거나 길이 및 너비를 변경할 수 있습니다.
장착 센서, 나사 및 브래킷은 옵션으로 제공됩니다.
대기 중에서 사용하도록 설계되었습니다.
