웨이퍼 핸들링 로봇용 고순도 알루미나 세라믹 엔드 이펙터
세인트세라(St.Cera)의 알루미나 세라믹 엔드 이펙터는 첨단 5축 CNC 연삭 장비를 사용하여 99.8% 고순도 Al₂O₃ 소재로 정밀 가공됩니다. 당사의 제조 역량에는 정밀 연삭기 및 CNC 가공 센터가 포함되어 있어 높은 정밀도로 복잡한 형상을 구현할 수 있습니다. 이 엔드 이펙터는 웨이퍼 삽입을 원활하게 하기 위해 테이퍼형 선단부를 갖춘 얇은 프로파일(최저 1.5mm)이 특징입니다. 알루미나 세라믹은 높은 강성(영률 380GPa), 뛰어난 내마모성, 그리고 최대 800°C의 열 안정성을 제공합니다. 각 유닛은 0.003mm의 평탄도, 0.002mm의 평행도, 그리고 Ra0.1의 표면 조도를 달성하도록 정밀 연삭되어 반도체 제조 시설(FAB) 환경에서 일관된 웨이퍼 접촉과 이물질 없는 작동을 보장합니다. 150mm에서 450mm까지 다양한 길이로 제공되며, OEM 로봇에 맞는 맞춤형 팁 형상(엣지 그립, 베르누이, 플랫) 및 장착 플랜지를 선택할 수 있습니다. 표면 마감 옵션에는 래핑, 폴리싱 또는 ESD 방산 코팅(10⁶–10⁹ Ω/sq)이 포함됩니다.
사양 (알루미늄 99.8% 기준)₂O₃(및 세인트세라의 제조 역량):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 영률 | 380 GPa |
| 평탄 | 0.003mm |
| 병행 | 0.002mm |
| 표면 마감 | Ra0.1 (래핑/폴리싱 처리) |
| 최대 작동 온도 | 800°C |
| 길이 범위 | 150~450mm |
응용 분야:
- 진공 및 대기압 로봇을 이용한 웨이퍼 전송
- • 200mm/300mm 웨이퍼용 FAB 자동화 엔드 이펙터
- • 박막 웨이퍼 처리 (ESD 옵션 포함)
제조 역량:
당사의 정밀 연삭기 및 CNC 가공 센터를 통해 다음과 같은 복잡한 세라믹 부품을 생산할 수 있습니다.
- • 최대 가공 길이: 1500mm
- • 최대 외경: 600mm
- • 최소 내경: 0.2mm
- • 최대 두께: 100mm
품질 관리:
직진도 0.005mm, 직각도 0.005mm, 원형도 0.002mm, 평행도 0.002mm, 동심도 0.01mm는 CMM(좌표측정기)으로 검증되었습니다. 각 제품은 초음파 세척 후 클래스 100 클린룸에서 포장됩니다.
