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웨이퍼 핸들링용 고순도 알루미나 세라믹 로봇 팔
세인트세라의 알루미나 세라믹 로봇 팔은 99.8% 고순도 Al₂O₃(알루미나)로 정밀하게 설계되었습니다. 이 소재는 탁월한 굽힘 강도(361 MPa), 높은 경도(16 GPa), 그리고 낮은 밀도(3.93 g/cm³)를 결합하여 반도체 웨이퍼 이송에 필요한 가볍지만 견고한 로봇 팔을 구현합니다. 또한, 알루미나의 열팽창 계수(7.2×10⁻⁶/°C)는 실리콘과 매우 유사하여 공정 중 열팽창 차이를 최소화합니다.
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베르누이 세라믹 엔드 이펙터 - 얇고 깨지기 쉬운 웨이퍼를 위한 비접촉식 웨이퍼 핸들링
세인트세라(St.Cera)의 베르누이 세라믹 엔드 이펙터는 공기역학적 양력을 이용하여 웨이퍼와 물리적 접촉 없이 이송합니다. 고순도 99.8% 알루미나(Al₂O₃) 또는 탄화규소(SiC)로 제작된 이 엔드 이펙터는 정밀 가공된 노즐을 통해 가압 가스를 분사하여 엔드 이펙터와 웨이퍼 사이에 얇은 공기막을 형성합니다. 이러한 비접촉 방식은 웨이퍼 뒷면 오염, 모서리 파손 및 표면 손상을 방지하여 얇고(≤100μm), 깨지기 쉽거나 휘어진 웨이퍼에 이상적입니다. 세라믹 기판은 높은 굴곡 강도(Al₂O₃의 경우 361MPa, SiC의 경우 최대 550~600MPa), 낮은 질량 및 뛰어난 치수 안정성을 제공하여 고속 웨이퍼 이송 로봇에서 반복적인 위치 지정을 보장합니다.
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테프론 코팅 세라믹 엔드 이펙터 - 민감한 웨이퍼 취급을 위한 논스틱 표면
세인트세라(St.Cera)의 테플론(PTFE) 코팅 세라믹 엔드 이펙터는 고강도 알루미나 기판에 균일하고 마찰이 적은 PTFE 코팅(두께 15~30μm)을 결합한 제품입니다. 이 코팅은 극히 낮은 마찰 계수(≤0.1), 뛰어난 내화학성, 그리고 웨이퍼 접착을 방지하고 후면 오염을 제거하는 비점착성을 제공합니다. 하부 세라믹 기판(99.8% Al₂O₃)은 높은 굴곡 강도(361~1000MPa), 내마모성, 그리고 최대 260°C(코팅 한계)까지의 열 안정성을 제공합니다. 이 엔드 이펙터는 섬세하고 얇거나 점착성이 있는 웨이퍼(예: 포토레지스트 코팅 또는 화학 공정 후)를 처리하는 데 이상적입니다.
