웨이퍼 핸들링용 고순도 알루미나 세라믹 로봇 팔
세인트세라의 알루미나 세라믹 로봇 팔은 99.8% 고순도 Al₂O₃(알루미나)로 정밀하게 설계되었습니다. 이 소재는 탁월한 굽힘 강도(361 MPa), 높은 경도(16 GPa), 그리고 낮은 밀도(3.93 g/cm³)를 결합하여 반도체 웨이퍼 이송에 필요한 가볍지만 견고한 로봇 팔을 구현합니다. 또한, 알루미나의 열팽창 계수(7.2×10⁻⁶/°C)는 실리콘과 매우 유사하여 공정 중 열팽창 차이를 최소화합니다.
명세서 (알루미늄 산화물 99.8% 기준):
| 재산 | 값 |
| 색상 | 상아 |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 영률 | 380 GPa |
| 열전도율 | 32 W/m·k |
| 열팽창 | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 절연 강도 | 15×10⁶ V/m |
응용 분야:
- 진공 웨이퍼 이송 로봇 (200mm/300mm)
- 대기 조절 시스템
- FAB 자동화용 엔드 이펙터 암
제조 공정:
등압 성형 → 초벌 가공 → 1600°C 소결 → CNC 정밀 연삭 → 초음파 세척 → 클래스 100 클린룸 포장. 각 암은 CMM을 사용하여 평탄도(±0.01mm) 및 표면 조도(Ra ≤0.4μm)를 100% 검사합니다.
품질 관리:
세인트세라는 ISO 9001:2015 인증을 획득했습니다. 당사는 미세 균열 검사를 위한 염료 침투 시험, 굴곡 강도 검사를 위한 3점 굽힘 시험, 그리고 ASTM D149에 따른 절연 강도 시험을 수행합니다.
금속 팔에 비해 장점:
- 스테인리스 스틸보다 50% 가볍습니다
- 갈바닉 부식 없음
- 낮은 입자 발생량 (≤0.05개/cm²)
- ESD 안전 코팅 적용 가능 (10⁶–10⁹ Ω/sq)
맞춤 설정:
길이는 150mm에서 450mm까지, 팁 모양(엣지 그립, 베르누이, 진공) 및 장착 플랜지 패턴은 OEM 도면에 따라 맞춤 제작 가능합니다. 시제품은 2주 내에 제작됩니다.
대량 주문의 경우 견적을 요청해 주십시오.
