고순도 알루미나 세라믹 판 - 단열 및 고온 설비용
세인트세라(St.Cera)의 세라믹 플레이트는 99.8% 고순도 알루미나(Al₂O₃)로 제조되어 높은 절연 강도(15×10⁶ V/m), 최대 1600°C의 열 안정성 및 탁월한 내마모성을 제공합니다. 플레이트는 정밀 래핑 처리되어 100mm 구간에서 5μm 이하의 평탄도와 0.4μm 이하의 표면 조도(Ra)를 달성합니다. 1mm에서 20mm까지의 표준 두께와 최대 500×500mm의 맞춤형 크기로 제공됩니다. 전기 절연체, 히터 베이스, 챔버 라이너 및 진공 척 기판으로 사용됩니다.
제원 (Al₂O₃ 99.8% 기준):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 절연 강도 | 15×10⁶ V/m |
| 특정 저항 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 열전도율 | 32 W/m·k |
| 열팽창(25~1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 최대 작동 온도 | 1600°C |
| 평탄도(100mm당) | ≤5 μm |
| 두께 공차 | ±0.05 mm |
| 표면 거칠기 | Ra ≤0.4 μm |
응용 분야:
- • 고전압 장비의 전기 절연판
- • 확산로의 히터 지지판
- • CVD/PVD용 챔버 라이너
- 진공척용 베이스 플레이트
장점:
- • 수분 흡수율 0% – 진공 상태에서 가스 방출 없음
- • 화학적으로 불활성 – 산 및 할로겐(HF 제외)에 내성이 있음
맞춤 설정:
구멍, 절단부, 모서리 둥글게 처리 및 금속 도금이 가능합니다.
