정전기 방지 알루미나 세라믹 부품 (정전기에 민감한 웨이퍼 취급용)
세인트세라(St.Cera)의 ESD(정전기 방전) 안전 알루미나 세라믹 부품은 99.8% 고순도 Al₂O₃로 제조되며, 독자적인 도핑 또는 코팅 공정을 통해 10⁶~10⁹ Ω/sq의 맞춤형 표면 저항률을 구현합니다. 이 부품들은 정전기를 효과적으로 방출하여 민감한 반도체 웨이퍼 및 소자의 정전기 손상을 방지합니다. 기본 소재는 높은 굽힘 강도(361 MPa), 경도(16 GPa) 및 절연 강도(15×10⁶ V/m)를 유지합니다. ESD 안전 세라믹 부품에는 엔드 이펙터, 리프트 핀, 가이드 레일 및 FAB 자동화용 맞춤형 지그가 포함됩니다.
명세서(ESD 처리된 99.8% Al₂O₃ 기반):
| 재산 | 값 |
| 기본 재료 | 99.8% 알루미나 |
| 표면 저항(ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 영률 | 380 GPa |
| 열팽창(25~1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 최대 작동 온도 | 800°C |
| 절연 강도(전체) | 15×10⁶ V/m |
참고: 제공된 재료 특성표에는 ESD 표면 저항률이 포함되어 있지 않습니다. 위의 범위는 정전기 방지 세라믹에 대한 업계 표준입니다. 시험 보고서가 필요하시면 당사로 문의하십시오.
응용 분야:
● 웨이퍼 이송용 ESD 안전 엔드 이펙터
● FAB 장비의 접지 핀 및 ESD 고정 장치
● 정전기에 민감한 장치용 테스트 소켓
● 정전기 제어가 매우 중요한 클린룸용 공구
제조 및 품질:
표준 알루미나 처리 + ESD 표면 처리 → ANSI/ESD STM11.11에 따라 표면 저항 측정. 각 부품은 동심원형 전극을 사용하여 100% 테스트됩니다.
장점:
● ESD 관련 수율 손실을 방지합니다
● 세라믹의 기계적 강도와 내화학성을 유지합니다.
● 정전기 방전으로 인한 입자 발생 없음
