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ST.CERA 맞춤형 99.5% 알루미나 세라믹 부품
세라믹 구조 부품은 다양하고 복잡한 모양의 세라믹 부품을 총칭하는 용어입니다.고순도 세라믹 분말로 만들어지며, 세라믹 부품은 건식 프레싱 또는 냉간 등방압 프레싱을 통해 성형되고 고온에서 소결된 후 정밀 가공됩니다.고온 저항, 내식성, 내마모성 및 절연성과 같은 특징으로 반도체 장비, 광통신, 레이저, 의료 장비, 석유, 야금, 전자 산업에 널리 사용됩니다.
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ST.CERA 맞춤형 99.5% 알루미나 세라믹 로더 암
세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암은 웨이퍼 핸들링 로봇 또는 "엔드 이펙터"에 설치되며 실리콘 웨이퍼를 카세트 또는 프로세스 챔버 안팎으로 운반하는 데 사용됩니다.
세라믹을 사용하면 높은 굽힘 강도로 인한 처짐 감소, 고온에 대한 내성, 금속 오염 및 입자 제거 등의 이점이 있습니다.
