맞춤형 ST.CERA 99.5% 알루미나 세라믹 로더 암 제조업체 및 공급업체

ST.CERA 맞춤형 99.5% 알루미나 세라믹 로더 암

간략한 설명:

세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암은 웨이퍼 핸들링 로봇 또는 "엔드 이펙터"에 설치되어 실리콘 웨이퍼를 카세트 또는 공정 챔버 안팎으로 운반하는 데 사용됩니다.
세라믹을 사용하면 높은 굽힘 강도로 인한 처짐 감소, 고온 저항성, 금속 오염 및 입자 제거 등의 이점이 있습니다.

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제품 상세 정보

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제품 상세 정보

세라믹은 고온, 부식, 마모 및 절연성이 뛰어나 고온, 진공 또는 부식성 가스 환경 등 다양한 조건에서 장시간 작동 가능한 반도체 생산 설비에 사용될 수 있습니다.

고순도 알루미나 분말을 냉간 등방압 성형, 고온 소결 및 정밀 가공을 거쳐 제작된 세라믹 엔드 이펙터는 ±0.001mm의 치수 공차, Ra 0.1의 표면 조도, 1600℃의 내열성을 갖출 수 있습니다.

캐비티가 있는 세라믹 엔드 이펙터는 독자적인 세라믹 접합 기술 덕분에 800℃의 고온에서도 작동할 수 있습니다.

다음은 순도가 다른 알루미나 세라믹의 특성입니다.

제품 매개변수

세인트세라 주식회사

물질 데이터 시트

속성	단위	알루미나(Al2O3)
속성	단위	99% Al2O3	99.5% Al2O3	99.8% Al2O3	99.9% Al2O3
색상	—	하얀색	상아	상아	상아
밀도	g/cm3	3.88	3.90	3.93	3.95
수분 흡수	%	0	0	0	0
입자 크기	μm	2~5	2~5	2~5	2~4
굽힘 강도	MPa	350	360	361	350
파괴 인성	MPa·m1/2	3~4	3~4	3~4	3~4
비커스 경도	그페이	14	15.5	16	16
영의 탄성 계수	그페이	370	370	380	390
열전도율	와트/m·k	28	32	32	34
열팽창 계수	10-6/℃	7.2	7.2	7.2	7.2
유전 상수	—	9.5	9.6	9.6	9.9
유전 손실 각도	—	0.0001	0.0001	0.0001	0.0001
절연 강도	V/m	15×106	15×106	15×106	15×106
특정 저항	Ω·mm2/m	﹥ 1014	﹥ 1014	﹥ 1014	﹥ 1014