물리적 증착 시스템용 알루미나 PVD 절연 링
세인트세라(St.Cera)의 PVD 절연 링은 물리적 증착(PVD) 시스템에 사용하기 위해 99.8% 고순도 알루미나(Al₂O₃)로 제조됩니다. 이 링은 챔버 구성 요소 간의 전기적 절연을 제공하여 아크 발생을 방지하고 안정적인 플라즈마 작동을 보장합니다. 주요 특성으로는 높은 유전 강도(15×10⁶ V/m), 비저항(>10¹⁴ Ω·mm²/m), 최대 1600°C의 열 안정성이 있습니다. 정밀 가공 기술을 통해 최대 600mm의 외경, 0.2mm의 내경, 0.003mm의 평탄도, Ra0.1의 표면 조도를 구현합니다. 링의 무다공성 및 화학적 불활성은 열악한 스퍼터링 환경에서도 장기간 안정적인 성능을 보장합니다.
사양 (알루미늄 99.8% 기준)₂O₃(및 세인트세라의 제조 역량):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 절연 강도 | 15×10⁶ V/m |
| 특정 저항 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 최대 외경 | 600mm |
| 최소 내경 | 0.2mm |
| 최대 두께 | 100mm |
| 평탄 | 0.003mm |
| 병행 | 0.002mm |
| 표면 마감 | 라0.1 |
| 최대 작동 온도 | 1600°C |
응용 분야:
- • PVD 시스템에서 타겟 백킹 플레이트 절연체
- · 챔버 관통형 절연체
- • 스퍼터링 시스템의 차폐 링 절연체
- • 플라즈마 챔버 내 고전압 절연
제조 정밀도:
동심도: 0.01mm, 원형도: 0.002mm, 직각도: 0.005mm, 수직도: 0.005mm (CMM으로 검증).
A폴리머 절연체 대비 장점:
- • 폴리머의 내열 한계가 300°C 미만인 반면, 이 소재는 1600°C의 고온을 견뎌냅니다.
- • 가스 방출 없음 – 진공 상태 유지
- • 플라즈마 침식 및 화학적 공격에 대한 저항력이 있습니다.
맞춤 설정:
맞춤형 단면, 장착 기능, 계단형 프로파일 및 다양한 동심원 디자인을 사용할 수 있습니다.
