고온 저항, 내식성, 내마모성 및 절연 기능을 갖춘 세라믹은 고온, 진공 또는 부식성 가스 조건에서 다양한 종류의 반도체 생산 장비에서 오랫동안 사용할 수 있습니다.
진공 상태에서 사용되는 트레이형 세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암입니다.
세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암은 금속에 비해 "더 높은 내열성", "덜 휘어짐", "가벼운" 무게를 자랑합니다.
세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암의 선두 제조업체로서 당사는 해당 시장의 요구에 부응하는 독창적인 엔드 이펙터/핸들링 암을 개발했습니다.주변 접촉을 최소화하면서 공기 흐름을 통해 웨이퍼를 공중에 띄우고 운반할 수 있는 베르누이의 원리 기반 세라믹 엔드 이펙터/핸들링 암.