진공 채널이 통합된 알루미나 세라믹 엔드 이펙터
세인트세라(St.Cera)의 알루미나 진공 엔드 이펙터는 정밀 가공된 진공 채널과 흡입구를 99.8% 고순도 알루미나 본체에 직접 통합했습니다. 이 설계는 외부 진공 패드를 제거하여 균일한 고정력으로 웨이퍼를 직접 픽업할 수 있도록 합니다. 알루미나 소재의 높은 굴곡 강도(361 MPa)와 경도(16 GPa)는 반복적인 진공 사이클에서도 장기간 치수 안정성을 보장합니다. 패드 영역 전체의 평탄도는 10 μm 이내로 유지되어 웨이퍼의 응력과 파손을 방지합니다. 진공 포트는 OEM 로봇 암과의 손쉬운 통합을 위해 후면 장착 플랜지에 위치합니다.
명세서(99.8% Al₂O₃ 기준):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 영률 | 380 GPa |
| 열팽창 | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 패드 평탄도 | ≤10 μm |
| 진공 채널 폭 | 0.5~2.0mm |
| 최대 작동 온도 | 800°C |
응용 분야:
● 얇거나 휘어진 웨이퍼의 진공 흡입
● 가장자리 그립 없이 웨이퍼를 직접 처리
● 태양 전지 및 LED 기판 전사
조작:
소결 알루미나 블랭크 → 5축 CNC 진공 채널 및 홀 드릴링 → 표면 래핑 → 초음파 세척 → 헬륨 누출 테스트. 각 이펙터는 진공 균일성을 위해 100% 유량 테스트를 거칩니다.
장점:
● 외부 진공 패드가 필요 없음 (입자 발생원 감소)
● 균일한 유지 압력으로 웨이퍼 자국 방지
● 화학적으로 불활성이며 클린룸 환경에 적합합니다.
