반도체 고정구용 고순도 알루미나 세라믹 코어
세인트세라(St.Cera)의 알루미나 세라믹 코어는 99.8% 고순도 Al₂O₃로 정밀하게 성형되어 탁월한 절연 강도(15×10⁶ V/m), 최대 1600°C의 열 안정성, 그리고 하중 하에서의 내크리프성을 제공합니다. 이 코어는 고온 공정 설비, 히터 베이스, 플라즈마 챔버 라이너 및 전기 절연체의 구조 부품으로 사용됩니다. 소재의 높은 경도(16 GPa)와 낮은 흡수율(0%)은 가혹한 환경에서도 장기간 신뢰성을 보장합니다.
명세서(알루미늄 99.8% 기준)₂O₃):
| 재산 | 값 |
| 재료 | 99.8% 알루미나 (아이보리) |
| 밀도 | 3.93 g/cm³ |
| 굽힘 강도 | 361 MPa |
| 파괴 인성 | 3–4 MPa·m¹/² |
| 비커스 경도 | 16 GPa |
| 영률 | 380 GPa |
| 열전도율 | 32 W/m·k |
| 열팽창(25~1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 절연 강도 | 15×10⁶ V/m |
| 특정 저항 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 최대 작동 온도 | 1600°C |
응용 분야:
- • 에피택셜 반응기용 히터 코어
- 플라즈마 챔버 라이너 및 커버 플레이트
- • 고전압 전기 절연체
- • 웨이퍼 핸들링 로봇용 고정 장치 베이스
조작:
등압 성형 → 소결 → 1600°C 소결 → CNC 연삭을 통해 최종 치수(±0.01mm 공차)를 구현합니다. 각 코어는 CMM 및 초음파 결함 탐지기로 검사합니다.
품질 보증:
ISO 9001:2015 인증. 표면 균열 검사를 위한 염료 침투 검사; ASTM D149에 따른 절연 강도 시험.
A다른 도자기에 비해 가지는 장점:
- • 지르코니아보다 높은 절연 강도 (15V/m vs <10×10⁶V/m)
- • 비플라즈마 응용 분야에서는 SiC보다 비용이 저렴합니다.
- • 할로겐(HF 제외)에 대한 우수한 내화학성
사용자 정의 모양:
원기둥, 사각 막대, 판 또는 복잡한 형상. 최소 형상 크기는 0.5mm입니다.
맞춤형 코어 설계 및 열 시뮬레이션 지원에 대해서는 당사에 문의하십시오.
