탄화규소(SiC) 세라믹 엔드 이펙터 - 고온 웨이퍼 핸들링을 위한 높은 강성
세인트세라(St.Cera)의 SiC 세라믹 엔드 이펙터는 S1111 배치 소재를 사용하여 고순도 탄화규소(SiC 함량 99.72%, 유리 Si 0.05%)로 제조됩니다. 이 제품은 탁월한 기계적 특성을 제공합니다. 굽힘 강도는 449 MPa(측정값), 탄성 계수는 457 GPa(측정값), 비커스 경도는 25~28 GPa(일반값)입니다. 낮은 밀도(3.10~3.15 g/cm³, 일반값)는 높은 비강성을 제공하여 고속 웨이퍼 이송 로봇에 이상적입니다. 열전도율은 120~150 W/m·K(일반값)이고 열팽창 계수는 4.0~4.5×10⁻⁶/℃(일반값)로, 이 엔드 이펙터는 고온(무부하 시 최대 1600~1700°C)에서도 효과적으로 열을 발산하고 치수 안정성을 유지합니다. 검정/회색 색상과 수분 흡수율이 0에 가까워 클린룸 환경에 적합합니다.
명세서(제공된 SiC S1111 테스트 보고서 및 일반적인 값을 기준으로 함)):
| 재산 | 값 |
| 재료 | SiC (SiC 99.72%, 유리 Si 0.05%) |
| 색상 | 검정/회색 |
| 밀도 | 3.10–3.15 g/cm³ |
| 수분 흡수 | 0% |
| 굽힘 강도 | 449 MPa (평균) |
| 파괴 인성 | 3.12 MPa·m¹/² (평균) |
| 탄성 계수 | 457 GPa |
| 비커스 경도 | 25~28 GPa |
| 열전도율(25°C) | 120–150 W/m·K |
| 열팽창 계수(25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| 최대 사용 온도(무부하) | 1600~1700°C |
응용 분야:
● 고온 웨이퍼 처리(후열처리, RTP, 에피택시)
● 높은 내식성이 요구되는 플라즈마 식각 챔버
● 고속 이송 로봇 (경량, 고강성)
조작:
SiC 분말 소결 → 암 프로파일 및 장착 형상의 정밀 CNC 연삭 → 표면 래핑 → 초음파 세척. 100% 치수 검사 및 진공 적용을 위한 헬륨 누출 테스트.
품질 관리:
● CMM을 이용한 길이, 너비 및 평탄도 검사
● 배치별 굽힘 강도 시험 (시험 보고서 표준에 따름)
● 현미경을 이용한 표면 결함 육안 검사
알루미나 또는 금속 대비 장점:
● 탄성 계수가 2배 더 높음 (알루미나의 약 380 GPa 대비 457 GPa) – 변형이 더 적음
● 3배 더 높은 열전도율 – 더 빠른 열 방출
● 공기 중에서 알루미나의 800°C 내열 온도에 비해 1600°C 이상의 고온을 견딥니다.
● 강철보다 밀도가 낮아 무게가 40% 감소합니다.
맞춤 설정:
길이는 150~450mm, 팁 모양(엣지 그립, 베르누이, 플랫), 장착 플랜지 패턴은 OEM 도면에 따릅니다.
*위의 모든 기계적 데이터는 제공된 시험 보고서(배치 S1111)에서 발췌한 것입니다. 열 및 경도 값은 해당 SiC 등급의 일반적인 값이며, 특정 로트에 대한 인증은 당사에 문의하십시오.*
