휘어진 웨이퍼 처리를 위한 다공성 세라믹 진공 척
세인트세라의 다공성 세라믹 척은 30~45%의 균일한 개방형 다공성과 10~100μm 범위의 기공 크기를 가진 고순도 알루미나로 제작되었습니다. 기존의 홈형 척과 달리, 다공성 표면은 웨이퍼 뒷면 전체에 걸쳐 고르게 진공을 형성하여 휘어지거나 얇거나 분리된 웨이퍼를 가장자리 들뜸이나 파손 없이 효과적으로 고정합니다. 또한 (조절 가능한) 부드러운 진공은 웨이퍼 뒷면의 마킹을 방지합니다.
명세서(알루미늄 99.6% 기준)₂O₃):
| 재산 | 값 |
| 다공성 | 30~45% |
| 평균 기공 크기 | 10–100 μm (선택 가능) |
| 굽힘 강도 | ≥250 MPa |
| 평탄도 (300mm 이상) | ≤5 μm |
| 표면 마감 | 연마 처리됨 (Ra 0.8 μm) |
| 최대 진공 레벨 | -80kPa |
| 작동 온도 | 400°C(공기), 600°C(불활성 기체) |
| 재료 | 99.6% Al₂O₃, ZrO₂ 또는 SiC |
응용 분야:
얇은 웨이퍼(≤50 μm) 후면 연삭
다이싱용 휘어진 웨이퍼 마운팅
테이프에서 개별 다이 픽업
유리 패널 취급
제조 및 품질:
유기 기공 형성제와 혼합된 세라믹 분말 → 가압 → 소결 → 최종 두께로 연마. 각 척은 진공 균일성(편차 ≤5%)에 대한 유동 테스트를 거치고 기공 크기 분포(SEM)를 검사합니다. 평탄도는 레이저 간섭계를 사용하여 측정합니다.
홈형 척 대비 장점:
웨이퍼 가장자리에 자국이 남거나 다이가 이동하지 않습니다.
최대 500μm까지 휘어진 웨이퍼를 고정합니다.
진공 구멍 막힘 현상을 방지합니다.
얇은 기판용 셀프 레벨링 지지대
맞춤 설정:
원형 또는 직사각형 모양, 최대 600mm 크기. 가장자리 밀봉 링 또는 구역 진공 칸막이를 적용할 수 있습니다. 높은 강성이 요구되는 경우 금속 보강 버전도 제공됩니다.
웨이퍼 크기 및 휜 정도 테스트를 위해 샘플을 요청하십시오.
