ST.CERA 맞춤형 알루미나 세라믹 그리핑 엔드 이펙터
제품 세부 정보
고온 저항, 내식성, 내마모성 및 절연 기능을 갖춘 세라믹은 고온, 진공 또는 부식성 가스 조건에서 다양한 종류의 반도체 생산 장비에서 오랫동안 사용할 수 있습니다.
고순도 알루미나 분말로 만들어졌으며 냉간 등방압 성형, 고온 소결 및 정밀 마감 가공을 거쳐 치수 공차 ±0.001mm, 표면 마감 Ra 0.1, 내열성 1600℃에 도달할 수 있습니다.
순도가 다른 알루미나 세라믹의 특성은 다음과 같습니다.
제품 매개변수
생산 과정
스프레이 과립화 → 세라믹 분말 → 성형 → 블랭크 소결 → 황삭 연삭 → CNC 가공 → 미세 연삭 → 치수 검사 → 세척 → 포장
특징
웨이퍼가 이송되거나 End Effector/Handling Arm과 접촉하는 동안 경사 또는 각진 모서리와 후면에서 발생할 수 있는 파티클을 방지합니다.
가이드에는 웨이퍼를 손상시키지 않는 부드러운 소재를 채용했습니다.
접착제를 사용하지 않는 ST.CERA의 진공 채널 기술 내장으로 Thinning이 가능합니다.
로봇에 엔드 이펙터/핸들링 암이 장착되는 베이스의 길이와 폭을 변경하고 장착 구멍을 만들 수 있습니다.
센서, 나사 및 브래킷 장착은 옵션으로 제공됩니다.
분위기에서 사용하도록 설계되었습니다.
필수 세부정보
원산지: 중국 후난성
자료: 반토 세라믹
HS 코드: 85471000
공급 능력: 월 200개
리드타임: 3-4주
패키지: 골판지 상자, 폼, 카톤
기타 : 맞춤 서비스 가능
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