ST.CERA 맞춤형 99.5% 알루미나 세라믹 로더 암
제품 세부 정보
고온 저항, 내식성, 내마모성 및 절연 기능을 갖춘 세라믹은 고온, 진공 또는 부식성 가스 조건에서 다양한 종류의 반도체 생산 장비에서 오랫동안 사용할 수 있습니다.
고순도 알루미나 분말로 제작되고 냉간 등압 성형, 고온 소결 및 정밀 마감 처리된 세라믹 엔드 이펙터는 치수 공차 ±0.001mm, 표면 마감 Ra 0.1, 내열성 1600℃에 도달할 수 있습니다.
캐비티가 있는 세라믹 엔드 이펙터는 독특한 세라믹 접합 기술로 인해 800℃의 고온에서도 작동할 수 있습니다.
순도가 다른 알루미나 세라믹의 특성은 다음과 같습니다.
제품 매개변수
(주)에스티세라
재료 데이터 시트
| 속성 | 단위 | 알루미나(Al2O3) | |||
| 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | 99.8% Al2O3 | 99.9% Al2O3 | ||
| 색상 | — | 하얀색 | 상아 | 상아 | 상아 |
| 밀도 | g/cm3 | 3.88 | 3.90 | 3.93 | 3.95 |
| 수분 흡수 | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 입자 크기 | μm | 2~5 | 2~5 | 2~5 | 2~4 |
| 굴곡강도 | MPa | 350 | 360 | 361 | 350 |
| 파괴 인성 | MPa·m1/2 | 3~4 | 3~4 | 3~4 | 3~4 |
| 비커스 경도 | 평점 | 14 | 15.5 | 16 | 16 |
| 영의 탄성계수 | 평점 | 370 | 370 | 380 | 390 |
| 열 전도성 | W/m·k | 28 | 32 | 32 | 34 |
| 열팽창계수 | 10-6/℃ | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 |
| 유전 상수 | — | 9.5 | 9.6 | 9.6 | 9.9 |
| 유전 손실 각도 | — | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 |
| 유전 강도 | V/m | 15×106 | 15×106 | 15×106 | 15×106 |
| 비저항 | Ω ·mm2/m | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 |
생산 과정
스프레이 과립 → 세라믹 분말 → 성형 → 블랭크 소결 → 거친 연삭 → CNC 가공 → 미세 연삭 → 치수 검사 → 청소 포장
필수 세부정보
원산지: 중국 후난성
자료: 반토 세라믹
HS 코드: 85471000
공급 능력: 월 100개
리드타임: 3-4주
패키지: 골판지 상자, 폼, 카톤
기타 : 맞춤 서비스 가능
